RGA série

Systém pro analýzu obsahu nádoby nebo derivátů procesu - Hmotnostní rozsah: 50, 100, 200, 300 nebo 510 amu - Minimální detekovatelná koncentrace (HALO): 2 x 10-13 mbar - Minimální detekovatelná koncentrace (3F): 2 x 10-14 mbar - Minimální detekovatelná koncentrace (3F-PIC): 2 x 10-15 mbar - Zdroj iontů: dostupný rozsah zdrojů s elektronovým dopadem - Kompletní kontrola zdroje iontů: ano - Elektronová emise: nastavitelná softwarem mezi 1 µA a 2 mA - Elektronická energie: nastavitelná softwarem mezi 0 V a 150 eV - Energie iontů: nastavitelná softwarem mezi 0 V a 10 eV - Detektor: Faradayův detektor a elektronový násobič - Příruba (HALO): příruba DN-35-CF (2.75"/70 mm) - Příruba (3F ? trojitý filtr): příruba DN-63-CF (4.5"/114 mm) Oblast použití: Analýza plynů a par v procesech a vakuových komorách. Možnosti hmotnostního rozsahu: 50, 100, 200, 300 nebo 510 amu: Kontrola MASsoft přes RS232, USB nebo více systémů přes Ethernet LAN Možnosti detektorů nabízejí citlivost od vysokého vakua po ultravysoké vakuum, UHV: Rychlý přístup k histogramu, analýze trendů a zobrazení analogových vrcholů Stabilita (méně než ±0.5% variace výšky během 24 hodin): Skenování v hybridním režimu, např. analýza trendu, histogram a analogové vrcholy