Vysokopřesné vakuové manometry - 1000 ... 500 Torr / mbar

Manometry INFICON SKY CDG200D pro vysoké teploty jsou vaší nejlepší volbou pro přesné měření a kontrolu celkového tlaku. Manometry CDG200D jsou řízeny teplotou na 200 °C pro vynikající výkon v náročných polovodičových a plazmových procesech. Jsou k dispozici pro plné rozsahy od 1 Torr do 1000 Torr, se všemi běžnými typy přírub a rozhraními pro pole a poskytují lineární tlakový signál 0 až 10 V, nezávislý na typu plynu. Kapacitní manometry INFICON používají ultrapure alumina keramickou membránu, která je odolná vůči korozi. Výhody keramického senzoru zahrnují lepší stabilitu signálu, rychlejší zotavení z atmosféry, krátkou dobu zahřívání a mimořádnou životnost. INFICON CDG jsou vysoce kvalitní, nákladově efektivní tlakové senzory pro náročné polovodičové, plazmové a vakuové aplikace. S digitálním rozhraním EtherCAT nyní k dispozici! (1) Nelinearita, hystereze, opakovatelnost při okolní teplotě 25 °C bez teplotních efektů po 2 hodinách... Přesnost (1):0.4 na nule:0.005 na rozsahu:0.02 Max. tlak:400 Rozlišení:0.003 Nejnižší měření:0.01 Nejnižší doporučené měření:0.05 Nejnižší doporučený kontrolní tlak:0.5 Provoz (okolní) (4):+10 … +50 Vypékání na přírubě:≤200 Skladování:–40 … +65 Napájecí napětí:+21 … +30 V DC nebo ±15 V (±5%) Během zahřívání:≤25 Při provozní teplotě:≤18 Výstupní signál (analog):0 … +10 Doba odezvy (2):30 Stupeň ochrany:IP 40 Shoda CE:EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS ETL certifikace:UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 Shoda SEMI:SEMI S2 Elektrické připojení:D-Sub, 15-pin, samec Počet nastavitelných bodů:2 (SP1,SP2) Reléový kontakt:≤30 Protokol:RS232-C Číst:tlak, stav, ID Nastavit:nastavovací body, filtr, nulové nastavení, tovární reset, DC offset Materiály vystavené vakuu:Keramika z oxidu hlinitého (AI 2O 3), nerezová ocel (AISI 316L (3)) I. objem 1/2'' trubka:4.2 (0.26) I. objem DN 16 ISO KF:4.2 (0.26) I. objem DN 16 CF-R:4.2 (0.26) I. objem 8 VCR®:4.2 (0.26) Hmotnost 1/2'' trubka:837 Hmotnost DN 16 ISO KF:852 Hmotnost DN 16 CF-R:875 Hmotnost 8 VCR®:897 Protokol EtherCAT:protokol specializovaný pro EtherCAT Komunikační standardy:Vakuový tlakový manometr