Analýzy zbytkových plynů (RGA) a Hmotnostní spektrometry - MPH100F

ODEMKNĚTE SVŮJ PROCES Bezkonkurenční výkon pro zvýšení výnosů a maximální provozní dobu Stále rostoucí cena křemíkových waferů a poptávka po hotových produktech znamenají, že vyřazené wafery stojí více než kdy dříve. Proto se pochopení vašeho procesu a monitorování vad stalo mnohem vyšší prioritou v centrech výroby polovodičů. Systém analýzy plynů Transpector MPH je navržen tak, aby odemkl váš proces s výkonem, který nemá obdoby, pro všechny vaše aplikace analýzy plynů, aby pomohl maximalizovat výnosy čipů a minimalizovat prostoje nástrojů. V kombinaci s nízkými celkovými náklady na vlastnictví a vysokým průměrným časem mezi poruchami, Transpector MPH pomáhá vašim výsledkům více než jakýkoli jiný analyzátor zbytkových plynů (RGA) na trhu. INFICON využil své odbornosti v oblasti kontrolního zařízení pro analýzu plynů k vytvoření RGA s průmyslově nejvyšší rychlostí sběru dat, minimálním detekovatelným parciálním tlakem a poměrem signálu k šumu. To vše, aniž by došlo k obětování jakéhokoli z... Délka senzoru: 14,3 cm Hmotnostní rozsah: 100 amu Typ detektoru: FC Citlivost (FC): 6E-4 A/Torr Citlivost (EM): NA Min. detekovatelný parciální tlak (4): 3E-13 Torr Max. provozní teplota senzoru (FC): 200 °C Max. provozní teplota senzoru (EM): NA Možnost typu vlákna (1): Y2O3/Ir Možnost typu vlákna (2): Wolfram Max. rychlost dat na bod: 1,8 ms Max. provozní tlak: 5E-4 Torr Max. teplota vypalování: 300 Napájení: 20-30 VDC