Depozice Tenkých Filmů - SQM-160 Standardní Rozlišení

SQM-160 využívá osvědčenou technologii senzorů z křemenných krystalů INFICON k měření rychlosti a tloušťky v procesech depozice tenkých filmů. Dva vstupy pro senzory jsou standardní a čtyři další vstupy pro senzory jsou volitelné. Dva výstupy pro záznam poskytují analogové signály rychlosti a tloušťky. Vstupy pro senzory mohou být přiřazeny různým materiálům, průměrovány pro přesnou kontrolu depozice ve velkých systémech nebo nakonfigurovány pro dvojitý senzor. Mód vzorkování rychlosti umožňuje uzavřenému senzoru prodloužit životnost senzoru v procesech s vysokou rychlostí. Zobrazení rychlosti 0,1 Å/s nebo 0,01 Å/s si uživatel může vybrat. Kromě toho lze vybrat zobrazení frekvence nebo hmotnosti. Čtyři reléové výstupy umožňují SQM-160 ovládat zdroje nebo závěsy senzorů, signalizovat časové a tloušťkové nastavení a signalizovat selhání krystalu. Digitální vstupy umožňují externím signálům spouštět/ukončovat a nulovat měření. Standard: RS-232; Volitelné: USB nebo Ethernet Standard: RS-232; Volitelné: USB nebo Ethernet Zařízení třídy 1, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD Zařízení třídy 1... Vstupy QCM senzoru: 2; volitelné: 4 Frekvenční rozsah měření: 1,0 MHz minimum 6,5 MHz maximum Rozlišení frekvence (1): ± 0,30 Hz Rozlišení/tloustka a rychlost měření (2): ± 0,37 Å Měřící interval: 0,10 až 2,0 s (nastavitelné) Měřící filtr: 1 až 20 měření Uložené filmy: 99 Analogové výstupy: Dva 0 až 5 VDC, rychlost a tloušťka Digitální vstupy/výstupy: Čtyři vstupy, čtyři reléové výstupy Komunikační rozhraní: RS-232; Volitelné: USB nebo Ethernet Napájení: 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W Shoda CE: Zařízení třídy 1, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD Krytí/montáž: 1/2-rack skříň, 3-1/2