Vakuová technologie pro nanotechnologie

U těchto komponentů se klade velký důraz na přesnost, kvalitu povrchu a čištění. V oblasti nanotechnologie vyrábíme ultra-vakuové komory pro analýzu částic v tlakových oblastech < 1 x 10-11 mbar pro aplikace molekulární svazkové epitaxe (MBE) a SPM (skanovací mikroskopie sondou). Tyto vakuové komory jsou vyráběny s velkou péčí, aby splnily vysoké nároky odvětví. S moderními stroji a inovativní technikou splňujeme vysoké požadavky nanotechnologie.