Vega - Automatizované AFM
Konečná kvalita obrazu s vestavěnou akustickou a vibrační izolací, aktivní termostabilizací, nejnižším průmyslovým šumem optického senzoru odchylky paprsku 25 fm/√Hz a unikátním designem systému skenování hrotem umožňuje rutinní vysoké rozlišení obrazu.
Vybaveno více než 50 AFM režimy včetně HybriD režimu, všechny špičkové nanomechanické, elektrické a magnetické studie jsou dostupné v základní konfiguraci.
Automatizované studium vzorků podle uživatelsky definovaného scénáře s databázovým uložením obrázků.
Inspekce vzorků až do velikosti 200×200 mm a výšky 40 mm v jakémkoli bodě s přesností polohování 1 μm.
Software Smart ScanT™ pro optimalizaci skenovacích parametrů jedním kliknutím. To není jen algoritmus, je to spíše unikátní společník, který pomáhá nováčkům v AFM získat průmyslově kvalitní obrázky a asistuje odborníkům.
Široké možnosti přizpůsobení integrace dalšího optického vybavení.
Typ: skener s uzavřenou smyčkou senzorů. Skenování hrotem
Rozsah skenování, XYZ: 100×100×10 µm nebo 2×2×1 µm v režimu nízkého napětí
Typ polohování hrot-vzorek: motorizované polohování vzorku v XYZ
Termální drift XYZ: méně než 0,2 nm/min
Pohybový rozsah: 200×200 mm v XY, 30 mm v Z
Přesnost polohování: 1 µm v XY, 0,2 µm v Z
Rychlost polohování: 8 mm/sec v XY
Přístup: chytrý algoritmus měkkého přístupu
Šum senzoru odchylky optického paprsku: <25 fm/√Hz nad 50 kHz
Rozlišení: 0,98 μm
Zorné pole: až 1,2×0,8 mm (5 Mpixel)
Automatické zaostření: na nosníku, na vzorku
AFM sondy: držák sond podporuje většinu komerčně dostupných sond
Počet skenovacích kanálů: až 24
Zpracování signálu: 512 Mb buffer, 3x 340 MHz FPGA, 320 MHz DSP
Lock-in zesilovače: 2x analogové lock-in zesilovače, 3x digitální lock-in zesilovače (podpora multifrekvenčních AFM režimů)
Generátory: 6x 32bitové digitální generátory, 4x pro Lock-in
Automatické testování: automatizovaná kontrola výkonu
Automatická úprava skenovacích parametrů: amplituda pohonu, zisk lock-in, nastavený bod, zisk zpětné vazby, rychlost skenování
Programovací nástroje: jazyk Nova PowerScript, integrace LabView, integrace databáze
PC rozhraní: USB
Stabilizace teploty: vestavěná fan-free termální stabilizace s přesností 0,05 °C
Akustická izolace: vestavěný akustický kryt
Vibrační izolace: vestavěný aktivní vibrační izolační stůl
Nanolitografie: Napětí, Proud, Síla (všechny vektorové a rastrové)
Spektroskopie: Síla-, Amplituda-, Fáze-, Frekvence-, Proud-Vzdálenost, I(V), Piezopulse, Vlastní režim
Rozměry: Š×D×V; 810×610×1450 mm