Plazmové systémy
Plazmové systémyPlazmové systémy

Plazmové systémy

Kompletní systémy pro zpracování a povrchovou úpravu pomocí plazmových procesů Aktivace, čištění a leptání s atmosférickým tlakem plazmy, reaktivní iontové leptání (RIE) a mikrovlnné downstream plasma
Podobné produkty
1/8
Inline systémy
Inline systémy
AURION nabízí vícekomorové systémy přizpůsobené vašim požadavkům s transportem substrátu pod vakuem. Dostupné konfigurace zahrnují přístupové komory,...
DE-63500 Seligenstadt
COMPACT-MW
COMPACT-MW
Kompaktní systémy, minimální prostor - Vysoké hustoty plazmy pro krátké procesní časy - Optimalizovaná homogenita díky plazmové mřížce se 2-dimenzioná...
DE-63500 Seligenstadt
Klastrové systémy
Klastrové systémy
AURION nabízí vícekomorové systémy přizpůsobené vašim požadavkům s manipulací se substráty pod vakuem. Dostupné konfigurace zahrnují nakládací komory...
DE-63500 Seligenstadt
KIVOS koncept: Plazmové systémy
KIVOS koncept: Plazmové systémy
KIVOS je velmi flexibilní, modulární koncept pro plasmatické systémy. Tyto systémy lze využít v nejrůznějších aplikačních oblastech, jako je napříkla...
DE-63500 Seligenstadt
HF systémy pro urychlovače částic (ACCELOS SÉRIE)
HF systémy pro urychlovače částic (ACCELOS SÉRIE)
Manipulace s paprsky v urychlovačích částic (např. komprese svazku), plně integrované systémy z kavit a, paprskových trubek a HF zesilovačů. Paprsková...
DE-63500 Seligenstadt
PIKNOS 30 MW
PIKNOS 30 MW
Max. 4 regulátory průtoku plynu s průtokem až 500 sccm na regulátor, napájení: 3/N/PE AC 400/230V, objem komory: 30 l, rozměry (ŠxHxV): 1,0 x 0,8 x 1,...
DE-63500 Seligenstadt
RIE-PRINCIP: CYLOS 160/RIE
RIE-PRINCIP: CYLOS 160/RIE
Vakuové nádoby volitelně z hliníku nebo nerezové oceli, vakuové pumpy v korozivzdorném provedení včetně odlučovače olejové mlhy s recirkulací oleje, a...
DE-63500 Seligenstadt