Sputrovací systémy (Sputtering)
Sputrovací systémy (Sputtering)Sputrovací systémy (Sputtering)

Sputrovací systémy (Sputtering)

AURION bietet speziell auf die Kundenanforderungen zugeschnittene Sputteranlagen in verschiedensten Konfigurationen an. Darunter finden sich kleine Laboranlagen mit einzelnen Rundkathoden, Batchanlagen mit Rechteckkathoden sowie Durchlaufanlagen.
Podobné produkty
1/8
Inline systémy
Inline systémy
AURION nabízí vícekomorové systémy přizpůsobené vašim požadavkům s transportem substrátu pod vakuem. Dostupné konfigurace zahrnují přístupové komory,...
DE-63500 Seligenstadt
Plazmové systémy
Plazmové systémy
Kompletní systémy pro zpracování a povrchovou úpravu pomocí plazmových procesů Aktivace, čištění a leptání s atmosférickým tlakem plazmy, reaktivní i...
DE-63500 Seligenstadt
COMPACT-MW
COMPACT-MW
Kompaktní systémy, minimální prostor - Vysoké hustoty plazmy pro krátké procesní časy - Optimalizovaná homogenita díky plazmové mřížce se 2-dimenzioná...
DE-63500 Seligenstadt
Klastrové systémy
Klastrové systémy
AURION nabízí vícekomorové systémy přizpůsobené vašim požadavkům s manipulací se substráty pod vakuem. Dostupné konfigurace zahrnují nakládací komory...
DE-63500 Seligenstadt
HF systémy pro urychlovače částic (ACCELOS SÉRIE)
HF systémy pro urychlovače částic (ACCELOS SÉRIE)
Manipulace s paprsky v urychlovačích částic (např. komprese svazku), plně integrované systémy z kavit a, paprskových trubek a HF zesilovačů. Paprsková...
DE-63500 Seligenstadt
PIKNOS 30 MW
PIKNOS 30 MW
Max. 4 regulátory průtoku plynu s průtokem až 500 sccm na regulátor, napájení: 3/N/PE AC 400/230V, objem komory: 30 l, rozměry (ŠxHxV): 1,0 x 0,8 x 1,...
DE-63500 Seligenstadt
KIVOS koncept: Plazmové systémy
KIVOS koncept: Plazmové systémy
KIVOS je velmi flexibilní, modulární koncept pro plasmatické systémy. Tyto systémy lze využít v nejrůznějších aplikačních oblastech, jako je napříkla...
DE-63500 Seligenstadt
RIE-PRINCIP: CYLOS 160/RIE
RIE-PRINCIP: CYLOS 160/RIE
Vakuové nádoby volitelně z hliníku nebo nerezové oceli, vakuové pumpy v korozivzdorném provedení včetně odlučovače olejové mlhy s recirkulací oleje, a...
DE-63500 Seligenstadt