AURION bietet speziell auf die Kundenanforderungen zugeschnittene Sputteranlagen in verschiedensten Konfigurationen an.
Darunter finden sich kleine Laboranlagen mit einzelnen Rundkathoden, Batchanlagen mit Rechteckkathoden sowie Durchlaufanlagen.
AURION nabízí vícekomorové systémy přizpůsobené vašim požadavkům s transportem substrátu pod vakuem.
Dostupné konfigurace zahrnují přístupové komory,...
Kompletní systémy pro zpracování a povrchovou úpravu pomocí plazmových procesů
Aktivace, čištění a leptání s atmosférickým tlakem plazmy, reaktivní i...
Kompaktní systémy, minimální prostor - Vysoké hustoty plazmy pro krátké procesní časy - Optimalizovaná homogenita díky plazmové mřížce se 2-dimenzioná...
AURION nabízí vícekomorové systémy přizpůsobené vašim požadavkům s manipulací se substráty pod vakuem.
Dostupné konfigurace zahrnují nakládací komory...
Manipulace s paprsky v urychlovačích částic (např. komprese svazku), plně integrované systémy z kavit a, paprskových trubek a HF zesilovačů. Paprsková...
Max. 4 regulátory průtoku plynu s průtokem až 500 sccm na regulátor, napájení: 3/N/PE AC 400/230V, objem komory: 30 l, rozměry (ŠxHxV): 1,0 x 0,8 x 1,...
KIVOS je velmi flexibilní, modulární koncept pro plasmatické systémy.
Tyto systémy lze využít v nejrůznějších aplikačních oblastech, jako je napříkla...
Vakuové nádoby volitelně z hliníku nebo nerezové oceli, vakuové pumpy v korozivzdorném provedení včetně odlučovače olejové mlhy s recirkulací oleje, a...
AURION nabízí vícekomorové systémy přizpůsobené vašim požadavkům s transportem substrátu pod vakuem.
Dostupné konfigurace zahrnují přístupové komory,...
Kompletní systémy pro zpracování a povrchovou úpravu pomocí plazmových procesů
Aktivace, čištění a leptání s atmosférickým tlakem plazmy, reaktivní i...
Kompaktní systémy, minimální prostor - Vysoké hustoty plazmy pro krátké procesní časy - Optimalizovaná homogenita díky plazmové mřížce se 2-dimenzioná...
AURION nabízí vícekomorové systémy přizpůsobené vašim požadavkům s manipulací se substráty pod vakuem.
Dostupné konfigurace zahrnují nakládací komory...
Manipulace s paprsky v urychlovačích částic (např. komprese svazku), plně integrované systémy z kavit a, paprskových trubek a HF zesilovačů. Paprsková...
Max. 4 regulátory průtoku plynu s průtokem až 500 sccm na regulátor, napájení: 3/N/PE AC 400/230V, objem komory: 30 l, rozměry (ŠxHxV): 1,0 x 0,8 x 1,...
KIVOS je velmi flexibilní, modulární koncept pro plasmatické systémy.
Tyto systémy lze využít v nejrůznějších aplikačních oblastech, jako je napříkla...
Vakuové nádoby volitelně z hliníku nebo nerezové oceli, vakuové pumpy v korozivzdorném provedení včetně odlučovače olejové mlhy s recirkulací oleje, a...