Náhradní díly pro iontovou implantaci - Náhradní díly pro iontovou implantaci vyrobené z grafitu, wolframu, molybdenu a slitin
Náhradní díly zahrnují například komory, filamenty, obloukové štěrbiny, držáky a mnoho dalších částí. Náhradní díly jsou vyrobeny z grafitu, molybdenu, wolframu a slitin. Jsou extrémně odolné a dlouhotrvající, a proto šetří peníze a čas na údržbu.
100 nebo více komponentů Plansee pracuje v každé paprskové dráze. Zajišťují, že ionty jsou generovány efektivně a přesně vedeny bez nečistot podél paprskové dráhy k waferu. Pro zákazníky v polovodičovém průmyslu se náhradní díly Plansee stále více stávají něčím víc než jen náhradami. Na základě originálních náhradních dílů výrobce zařízení Plansee optimalizuje geometrie a materiálové složení. Výhody pro vás:
— Zjednodušená instalace a demontáž komponentů
— Delší životnost
— Nižší náklady na čištění
— Snížená údržba
— Snížené prostoje