... k dispozici v velikostech pórů od 1 do 100 mikronů. Tři hlavní aplikace porézní keramiky: - Vacuum Chuck, jako je vakuový chuck pro rýsovací stroje, vakuový chuck pro křemíkové wafery. - Adsorpční platforma. - Suspense platforma. Zejména se široce používají v průmyslu polovodičů, například při zpracování LED waferů. Mikroporézní keramický pracovní disk je speciální nástroj pro adsorpci a podporu v různých procesech výroby polovodičových waferů a používá se v procesech, jako je ztenčování, dělení, čištění a manipulace.