... k dispozici v velikostech pórů od 1 do 100 mikronů.
Tři hlavní aplikace porézní keramiky:
- Vacuum Chuck, jako je vakuový chuck pro rýsovací stroje, vakuový chuck pro křemíkové wafery.
- Adsorpční platforma.
- Suspense platforma.
Zejména se široce používají v průmyslu polovodičů, například při zpracování LED waferů.
Mikroporézní keramický pracovní disk je speciální nástroj pro adsorpci a podporu v různých procesech výroby polovodičových waferů a používá se v procesech, jako je ztenčování, dělení, čištění a manipulace.