LIP/LIF/LIC pro aplikaci v ultravysoké vakuové technologii

LIP/LIF/LIC série pro aplikace v technologii vysokého a ultravysokého vakua - Exponované lineární enkodéry jsou navrženy pro použití na strojích a zařízeních, které vyžadují vysokou přesnost měřené hodnoty. Typické aplikace zahrnují: - Měřicí a výrobní zařízení v polovodičovém průmyslu - Stroje na montáž PCB - Ultra-přesné stroje - Vysoce přesné obráběcí stroje - Měřicí stroje a komparátory, měřicí mikroskopy a další přesná měřicí zařízení - Přímé pohony Naše standardní enkodéry jsou vhodné pro použití v nízkém nebo středním vakuu. Enkodéry používané pro aplikace ve vysokém nebo ultravysokém vakuu musí splňovat zvláštní požadavky. Konstrukce a použité materiály musí být speciálně přizpůsobeny. Pro více informací se podívejte na dokument Technické informace: Lineární enkodéry pro vakuovou technologii. Následující exponované lineární enkodéry jsou speciálně přizpůsobeny pro použití v prostředí vysokého a ultravysokého vakua. • Vysoké vakuum: LIP 481 V a LIF 481 V • Vysoké vakuum: LIC 4113 V a LIC 4193 V • Ultrahigh vacuum: LIP 481 U Délka měření: Až 3040 mm Chyba polohy na signálovou periodu: ± 0,001 µm / Až ± 0,04 µm