Prior XY stůl polohovací systém s dráhou 300 x 300 mm

H112 bez problémů pojme 12palcové wafery (300 mm) a spolupracuje s mnoha robotickými rameny pro nakládání waferů. Stůl H112 je ideální pro skenování různých polovodičových waferů, fotomasek, plochých obrazovek a desek plošných spojů. H112 bez problémů pojme 12palcové wafery (300 mm) a spolupracuje s mnoha robotickými rameny pro nakládání waferů. Kromě toho může být H112 použit pro aplikace s průsvitem s průsvitnou plochou 250 mm x 250 mm. Zvláštní vlastnosti: - Vhodné pro většinu běžných značkových mikroskopů - 1 µm nebo lepší opakovatelnost - Volitelné 100 nm lineární měřítka nabízejí nejvyšší dostupné rozlišení - Široká škála držáků waferů - 302 mm x 302 mm (12″x12″) zdvih