LeviWafer Uchopovač

S transportním systémem LeviWafer-Greifer je možné citlivé wafery zvedat a přepravovat bezkontaktně. V kombinaci s přepravou je také možné nakládání a vykládání kazet nebo stohů. Greifer drží wafer pomocí technologie ultrazvukových ložisek v odstupu, což umožňuje bezkontaktní transport. Kromě mikroškrábanců a -trhlin se vyhýbá znečištění částicemi, protože bez stlačeného vzduchu nevznikají vzduchové turbulence. Proto je greifer také velmi vhodný pro čisté prostory. LeviWafer-Greifer může být navržen jako Single- nebo DoublePaddle. Vlastnosti LeviWafer-Greiferu: - Bezkontaktní uchopení - Žádné mikroškrábance, mikrorhliny nebo částice - Vhodné pro standardní kazety - Nízká spotřeba energie - Možnost přizpůsobení podle požadavků zákazníka