RF Senzorová Technologie
RF Senzorová Technologie

RF Senzorová Technologie

RF senzor s FabGuard poskytuje analýzu plazmového procesu v reálném čase, aby výrazně snížil variabilitu procesu Technologie RF senzorů INFICON poskytuje vysoce přesné, širokopásmové, frekvenčně diskrétní RF měření pro nástroje zpracování polovodičů. Tato RF data poskytují podrobné informace o skutečných podmínkách plazmatu jak při vývoji procesu, tak při problémech s výrobním procesem, což výrazně snižuje variabilitu procesu. Nejnovější z jejího portfolia pokročilých senzorů pro řízení procesu in situ, tento neinvazivní RF senzor s montáží na kabel v lince se kombinuje se systémem integrace a analýzy senzorů FabGuard, aby nabídl kritické diagnostické informace, např. přesné měření výkonu a impedance komory a procesu, analýzu příčin poruch (např. problémy s ladicím obvodem), otiskování procesu pro sladění komory a modelování metrologie waferů v aplikacích PVD, CVD a leptání. Technologie RF senzorů INFICON s FabGuard generuje vysoce přesné modely, které předpovídají metrologii waferů...
Podobné produkty
1/15
RF Senzorová Technologie
RF Senzorová Technologie
NEINVAZIVNÍ, KLECOVÝ RF DETEKTOR ZAJIŠŤUJE VYSOKORYCHLOSTNÍ DETEKCI ARKŮ V iPVD, PECVD A ETCH Snížení ztrát waferů a zlepšení výtěžnosti Arkování běh...
DE-50968 Köln
RF Senzorová Technologie
RF Senzorová Technologie
Sion™ RF Detektor vám poskytuje lepší kontrolu a vyšší výtěžnost v procesech chemického depozice páry (CVD) a leptání tím, že spolehlivě a přesně urču...
DE-50968 Köln
Analizátory zbytkových plynů (RGA) a Hmotnostní spektrometry
Analizátory zbytkových plynů (RGA) a Hmotnostní spektrometry
MONITOROVÁNÍ A ŘÍZENÍ RYCHLÝCH ZMĚN PROCESU Nový analyzátor zbytkových plynů Transpector XPR 3+ (RGA) poskytuje měření s průmyslově nejvyššími rychlos...
DE-50968 Köln
Analizátory zbytkových plynů (RGA) a Hmotnostní spektrometry
Analizátory zbytkových plynů (RGA) a Hmotnostní spektrometry
Detekce úniků a detekce koncových bodů v reálném čase Analizátor plynů INFICON Quantus LP100 poskytuje detekci úniků a detekci koncových bodů v reáln...
DE-50968 Köln
Chemické Detekce a Monitorování (GCMS/GC/IR)
Chemické Detekce a Monitorování (GCMS/GC/IR)
Zjednodušte a zrychlete analýzu plynů Micro GC Fusion nabízí významné zvýšení propustnosti díky rychlému zvyšování teploty a modulární architektuře.
DE-50968 Köln
Chemické Detekce a Monitorování (GCMS/GC/IR) - IRwin S
Chemické Detekce a Monitorování (GCMS/GC/IR) - IRwin S
IRwin® Detektor úniku metanu je inovativní, přenosný detektor zemního plynu pro snadné průzkumy plynových potrubí a detekci úniků plynu. Byl vyvinut v...
DE-50968 Köln
Analizátory zbytkových plynů (RGA) a Hmotnostní spektrometry
Analizátory zbytkových plynů (RGA) a Hmotnostní spektrometry
Mobilní vozík pro samostatné použití pro diagnostiku Mobilní vozík INFICON umožňuje Transpector CPM (Kompaktní procesní monitor) stát se mobilním dia...
DE-50968 Köln
Analýzy zbytkových plynů (RGA) a Hmotnostní spektrometry - MPS100F
Analýzy zbytkových plynů (RGA) a Hmotnostní spektrometry - MPS100F
STANDARD V ANALÝZE PLYNŮ Vynikající výkon a skvělá hodnota pro obecné vakuové aplikace Jak se výrobní technologie vyvíjejí a standardy kvality se mě...
DE-50968 Köln
Detektory úniků - Sensistor ISH2000 Detektor úniku vodíku, stolní model
Detektory úniků - Sensistor ISH2000 Detektor úniku vodíku, stolní model
Sensistor ISH2000 je robustní přístroj pro profesionální detekci úniků, jak manuální, tak automatickou. Unikátní metoda využívající levného formovacíh...
DE-50968 Köln
Detektory úniků - Detektor úniku vodíku Sensistor Sentrac, stolní model
Detektory úniků - Detektor úniku vodíku Sensistor Sentrac, stolní model
Detektor úniku vodíku Sensistor Sentrac je moderní detektor úniku pro průmyslové použití. Na základě vysoce selektivního a citlivého senzoru Sensistor...
DE-50968 Köln
Analýzy zbytkových plynů (RGA) a Hmotnostní spektrometry - MPH100F
Analýzy zbytkových plynů (RGA) a Hmotnostní spektrometry - MPH100F
ODEMKNĚTE SVŮJ PROCES Bezkonkurenční výkon pro zvýšení výnosů a maximální provozní dobu Stále rostoucí cena křemíkových waferů a poptávka po hotovýc...
DE-50968 Köln
Analýzy zbytkových plynů (RGA) a Hmotnostní spektrometry - QMA 400
Analýzy zbytkových plynů (RGA) a Hmotnostní spektrometry - QMA 400
Některé varianty QMG 700 budou k 31. lednu 2018 vyřazeny z výroby. Překračování detekčních limitů s vynikající stabilitou a zdokonaleným rozlišením ...
DE-50968 Köln
Detektory úniků - Sensistor XRS9012
Detektory úniků - Sensistor XRS9012
Detektor úniku vodíku Sensistor XRS9012 je rychlý, spolehlivý a robustní přístroj pro detekci úniků v inženýrských sítích, jako jsou telekomunikační k...
DE-50968 Köln
Detektory úniků - HLD6000
Detektory úniků - HLD6000
Testování úniků pro nejvyšší kvalitativní požadavky INFICON činí další krok směrem k detekci úniků na nejvyšší úrovni s detektorem úniků chladiva HLD...
DE-50968 Köln
Detektory úniků - Detektor úniku helia UL1000
Detektory úniků - Detektor úniku helia UL1000
ULTRATEST Technologie™ Rychlost, citlivost a spolehlivost pro náročné aplikace detekce úniků Mobilní helium detektor úniků INFICON UL1000 je navržen ...
DE-50968 Köln

Je tu aplikace europages!

Použijte náš vylepšený vyhledávač poskytovatelů nebo vytvářejte dotazy na cestách s novou aplikací europages pro kupující.

Stáhnout v App Store

App StoreGoogle Play