LeviWafer-Gripper

S transportním systémem LeviWafer-Gripper je možné zvedat a přepravovat citlivé wafery bezkontaktně. V kombinaci s přepravou je také možné (vy)nakládání zásobníků a kazet. Gripper využívá ultrazvukovou ložiskovou technologii, aby udržel wafer v určité vzdálenosti, což umožňuje bezkontaktní přepravu. Kromě mikroškrábanců a mikrotrhlin se také zabraňuje kontaminaci částicemi, protože bez stlačeného vzduchu nevzniká žádná vzduchová turbulence. Proto je gripper také velmi vhodný pro čisté prostory. LeviWafer-Gripper může být navržen s jedním nebo dvěma pádly. Vlastnosti LeviWafer-Gripper: - Bezkontaktní uchopení - Žádné mikroškrábance, mikrotrhliny ani částice - Vhodné pro standardní kazety - Nízká spotřeba energie - Možnost přizpůsobení podle požadavků zákazníka