uchopení waferu

... stlačeného vzduchu nevzniká žádná vzduchová turbulence. Proto je gripper také velmi vhodný pro čisté prostory. LeviWafer-Gripper může být navržen s jedním nebo dvěma pádly. Vlastnosti LeviWafer-Gripper: - Bezkontaktní uchopení - Žádné mikroškrábance, mikrotrhliny ani částice - Vhodné pro standardní kazety - Nízká spotřeba energie - Možnost přizpůsobení podle požadavků zákazníka...